美国陶氏树脂MR-450UPW超纯水级抛光树脂
DOWEX™ MONOSPHERE™ MR-450 UPW
一种适用于超纯水使用的不可分离的均粒混床树脂
DOWEX™ MONOSPHERE™ MR-450 UPW级别树脂是一种不可分离的均匀的混床树脂。它被推荐使用在超纯水抛光处理阶段的不可再生混床里来实现硅、硼、钠、钾、硫酸盐、氯化物、锌、铁和铝离子的较低的ppb 水平。这类不可再生混床在更换前可使用2-3 年。
UPW 级别的树脂具有很高的离子转换率(95% 较小),卓越的电导率和 ΔTOC 的清洗特性和超强的抗压强度。由于它是有均粒的360 微米阳树脂和590 微米的阴树脂混合而成,使其保持了高效的动力学性能和较高的运行交换容量。
美国陶氏树脂MR-450UPW超纯水级抛光树脂
专为超纯水设计的陶氏DOWEX™ MONOSPHERE™ UPW树脂
陶氏DOWEX™ MONOSPHERE™ UPW超纯水级均粒树脂,是专门为半导体、高性能显示器和微电子行业对超纯水的严格 要求而设计生产的,陶氏超纯水级均粒树脂具有如下显著的特点:
较高的再生转型率;
超纯水出水较低的离子和金属残留特性;
较低的TOC溶出物;
超纯水混床树脂仅需4倍床层体积的冲洗便能使出水达到18.3MΩ·cm;
树脂颗粒无裂纹率>95%;
高度耐磨性,防止使用过程中出现破碎;
卓越的机械强度。
陶氏抛光树脂型号参数对照表
产 品 名 称 |
较小全 交换容 量,eq/l |
均一 系数 |
含水率 % |
较高 温度 oC |
组 成 |
MONOSPHERE 650C UPW(H) 强酸性凝胶型阳离子交换树脂 |
1.9 | <1.1 | 46~51 | 120 | 较小H+转换率,99% |
MONOSPHERE 550A UPW(OH) 强碱性I型凝胶型阴树脂交换树脂 |
1.0 | <1.1 | 55~65 | 60 | 较小OH-转换率,95% |
MONOSPHERE MR-3 UPW 凝胶型混床离子交换树脂 |
1.9(H) 1.0(OH) |
<1.1 |
46~51 55~65 |
60 |
1:1(当量比) (MS 650C UPW(H) :MS 550A UPW(OH)) |
MONOSPHERE MR-450 UPW 凝胶型混床离子交换树脂 |
1.9(H) 1.0(OH) |
<1.1 |
46~53 55~65 |
60 |
1.2:1(当量比) (MS 350C UPW(H) :MS 550A UPW(OH)) |
MONOSPHERE MR-575 LC NG 凝胶型混床离子交换树脂 |
2.3(H) 1.1(OH) |
<1.1 |
41~46 55~65 |
60 |
1:1(当量比) (MS 575C NG(H) :MS 550A LC NG(OH)) |
美国陶氏UPW级别树脂适用于超纯水或其它相当要求应用领域中的初级除盐和精制抛光除盐,适用于复床和混床。陶氏化学的这种高性能超纯水级树脂在超纯水系统中的使用量比其它所有品牌的总和还要多,几十年来,在国内外众多的著名微电子公司和晶元制造商一直成功地使用着陶氏的这类高性能超纯水级树脂,其出水水质更高更稳定,冲洗更快,压降更低,使用寿命长,补充量少,运行成本较低。
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